SEM nano toz örneklerinin hazırlanması genellikle aşağıdaki adımları gerektirir:
örnek hazırlama
Öncelikle uygun numune hazırlama yönteminin seçilmesi gerekmektedir. Genellikle fiziksel yöntemler, kimyasal yöntemler, biyolojik yöntemler, mekanik yöntemler vb. vardır. Bunlar arasında en yaygın yöntemler magnetron püskürtme, kimyasal indirgeme, aerosol vb.'dir.
Örnek dağılımı
Nano toz örneklerinin eşit şekilde dağılması da çok önemlidir. Numuneler, ultrason veya karıştırma gibi yöntemler kullanılarak solventler veya diğer maddeler içerisinde eşit şekilde dağıtılabilir.
örnek hazırlama
Gerçek ihtiyaçlara göre numuneler ince filmler, ince filmler veya diğer formlar halinde hazırlanabilir. Numuneler genellikle santrifüj gibi ekipmanlar kullanılarak hazırlanabilir.
Tane büyüklüğü testi
Tane boyutu, transmisyon elektron mikroskobu veya X-ışını kırınımı gibi yöntemler kullanılarak test edilebilir ve test sonuçlarına göre ilgili işlemler ve ayarlamalar yapılabilir.
SEM gözlemi
Place the sample on the SEM specimen table for SEM observation. Better SEM images can be obtained by adjusting SEM parameters such as electron acceleration voltage, electron detector, scanning method, etc.